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隨著(zhù)使用要求和工藝條件的發(fā)展，我們要求產(chǎn)品的尺寸越做越小，集成度越來(lái)越高。觀(guān)察和測量的范圍也從毫米級變成微米級，現在更是演變到納米級。傳統的探針接觸式表面粗糙度儀漸漸滿(mǎn)足不了最新的測量需求。

今天為您帶來(lái)的全新的3D立體形貌測量?jì)x，該技術(shù)顛覆傳統， 將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融合于一身，帶您感受高清晰的納米世界。

彩色共聚焦觀(guān)察方式使用戶(hù)能在視場(chǎng)內觀(guān)察到納米級的細節。掃描時(shí)用紅、綠、藍三色LED交替照明，獲得三張單色的圖像，最后還原成高分瀕率彩色圖像和高質(zhì)量的彩色表面紋理圖。

共聚焦技術(shù)可以用來(lái)測量各類(lèi)樣品表面的形貌。 它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.09 μm。利用它可實(shí)現臨界尺寸的測量。專(zhuān)利的共聚焦算法保證Z軸測量重復性在納米范疇。

白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數都可以保證納米級的縱向分辨率

多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測量非常粗糙的表面形貌。此功能來(lái)補足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的最大亮點(diǎn)是快速 (mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（最大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

太陽(yáng)能

鏡頭

測量視頻

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